Ti衬底层对FePt颗粒膜的微结构和磁特性的影响

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:li1xiang125
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在室温下,应用对靶直流磁控溅射设备在普通玻璃基片上制备了FePt(30nm)/Ti(tnm)颗粒膜样品,随后,在真空中进行了原位退火。详细研究了Ti衬底层对FePt颗粒膜的微结构和磁特性的影响。X射线衍射图谱表明样品形成了较有序的L10织构,Ti和FePt形成了三元FePtTi合金。当Ti层厚度t=5nm、退火温度Ta=500℃时,样品具有高度有序的L10织构、小的颗粒尺寸和优异的磁特性。矫顽力超过了6.7kOe,饱和磁化强度为620emu/cc。并且具有较小的开关场分布。结果表明FePt/Ti颗粒膜系统
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