【摘 要】
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采用全耗尽非对称双Schottky势垒模型,以Pt/Pb（Zr,Ti）O3/Pt（Pt/PZT/Pt）三明治结构铁电薄膜电容为例,对铁电薄膜的漏电行为及其电滞回线形变等进行了分析.详细讨论了由非对称界面
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,日本大阪大学基础工学部电气工学科 上海 200050,上海 200050,上海 200050,上
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采用全耗尽非对称双Schottky势垒模型,以Pt/Pb（Zr,Ti）O3/Pt（Pt/PZT/Pt）三明治结构铁电薄膜电容为例,对铁电薄膜的漏电行为及其电滞回线形变等进行了分析.详细讨论了由非对称界面引起的薄膜漏电流、平带电压、击穿电压、以及电滞回线的不封闭性、剩余极化和矫顽电场的变化、电滞回线垂直漂移等现象.理论计算与实验结果符合得很好.
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