一种简便方法制备ZnO薄膜及其特性研究

来源 :合肥工业大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：hero18

【摘要】

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该文介绍了一种制备ZnO薄膜的简便方法:先在真空中蒸发沉淀Zn薄膜,再在空气中进行加热退火处理,使薄膜结晶变成ZnO薄膜.薄膜的X射线衍射谱(XRD)表明使用上述方法得到的是结晶

【作者】

：

汪壮兵梁齐

【机构】

：

合肥工业大学理学院

【出处】

：

合肥工业大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

X射线衍射谱光致发光谱 ZNO薄膜制备方法 X-ray diffraction(XRD) spectrumphotoluminescence(PL) spe

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该文介绍了一种制备ZnO薄膜的简便方法:先在真空中蒸发沉淀Zn薄膜,再在空气中进行加热退火处理,使薄膜结晶变成ZnO薄膜.薄膜的X射线衍射谱(XRD)表明使用上述方法得到的是结晶良好的ZnO薄膜,对薄膜的发光特性研究表明,薄膜的光致发光谱(PL)与薄膜的制备条件密切相关.同时还系统研究了薄膜的PL谱与退火温度、退火时间和通气与否的关系,对实验结果给出了初步的解释.

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