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采用PECVD技术，通过对基片使用不同的预处理方法和沉积参数，合成了金刚石、碳纳米管及碳纳米管／纳米金刚石复合物．利用SEM，TEM，拉曼光谱对样品的形貌、成分和结构进行了研究．结果表明，在制备样品的过程中，基片的预处理方法和CH4／H2流量比至关重要，它们将影响所制得样品的晶粒大小、形核密度以及微观结构．