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本文对硅单晶、人工晶体及石英玻璃线切割用高质量6H—SiC微粉的最新研究成果和创新作了论述和评价。对半导体工业用高质量石英玻璃的工艺创新作了论述和评价，并对这两种材料的国内外产品性能进行了对比。
半导体工业用石英玻璃和6H碳化硅微粉的技术创新与质量水平评价
【摘 要】
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本文对硅单晶、人工晶体及石英玻璃线切割用高质量6H—SiC微粉的最新研究成果和创新作了论述和评价。对半导体工业用高质量石英玻璃的工艺创新作了论述和评价，并对这两种材料
【机 构】
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中国建筑材料科学研究总院
【出 处】
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建筑玻璃与工业玻璃
【发表日期】
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2007年1期
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