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介绍一种高温氧化薄膜应力的测定技术，在一定高温氧化条件下能测定氧化膜中的生长应力，在某一温度变化范围内能测定氧化膜中的热应力，这种技术可在普通衍射仪上进行。
高温氧化薄膜中残余应力分析和试验方法
【摘 要】
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介绍一种高温氧化薄膜应力的测定技术，在一定高温氧化条件下能测定氧化膜中的生长应力，在某一温度变化范围内能测定氧化膜中的热应力，这种技术可在普通衍射仪上进行。
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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上海金属
【发表日期】
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1997年2期
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