脉冲激光沉积法制备SrMnO3薄膜

来源 :应用物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jim2y

【摘要】

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本文在采用固相反应法的基础上使用两步法制备出了较高纯度单相多晶SrMnO3靶材,并利用脉冲激光沉积法在SrTiO3(001)衬底上使用不同的实验条件尝试制备SrMnO3薄膜。结果表明在

【作者】

：

卢鑫汤如俊杨浩

【机构】

：

苏州大学物理与光电·,能源学部

【出处】

：

应用物理

【发表日期】

：

2015年1期

【关键词】

：

SrMnO3 脉冲激光沉积外延薄膜

【基金项目】

：

国家自然科学基金(51202153, 11004145, 11274237, 51228201),教育部基金(20123201120028).

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本文在采用固相反应法的基础上使用两步法制备出了较高纯度单相多晶SrMnO3靶材,并利用脉冲激光沉积法在SrTiO3(001)衬底上使用不同的实验条件尝试制备SrMnO3薄膜。结果表明在较高的衬底温度(≥700℃)和适当的氧压(5 Pa左右)条件下能够生长出结晶性较好的SrMnO3薄膜。本文通过X射线衍射和同步辐射X射线衍射手段确定了SrMnO3薄膜在SrTiO3(001)衬底上的外延生长,其取向关系为SrMnO3(001)//SrTiO3(001)。X射线光电子能谱分析显示薄膜中的Mn元素存在+3价和+4

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