Study on adhesion and electro-optical properties of ITO films on flexible PET substrate

来源 :稀有金属：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yeximajor

【摘要】

：

High-quality ITO films on flexible PET substrate were prepared by RF magnetron sputtering at low deposition temperature with different Ar gas sputtering pressur

【作者】

：

TANG Wu WENG Xiaolong WU Yutao

【机构】

：

StateKeyLaboratoryofElectronicThinFilmsandIntegratedDevices

【出处】

：

稀有金属：英文版

【发表日期】

：

2006年z2期

【关键词】

：

ITO FILMS ADHESION RESISTIVITY ITO films adhesion resistivity

【基金项目】

：

This work was financially supported by the Sichuan Outstanding Youth Foundation of China (No.04ZQ026-008).

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High-quality ITO films on flexible PET substrate were prepared by RF magnetron sputtering at low deposition temperature with different Ar gas sputtering pressure.Adhesion and electro-optical properties of ITO films were investigated as a function of Ar pa

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