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本文介绍了半导体制造中的气体系统、化学品系统、超纯水系统、冷却水系统的特点及应用，以便更好保障生产。
圆片制造需要高质量的动力源
【摘 要】
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本文介绍了半导体制造中的气体系统、化学品系统、超纯水系统、冷却水系统的特点及应用，以便更好保障生产。
【机 构】
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无锡华润微电子有限公司无锡214061
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2004年7期
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目的分析大连市1951～2002年流行性乙型脑炎(乙脑)发病特征及流行趋势,掌握其流行规律,制定防制对策.方法流行病学和统计学.结果1951～2002年全市共发生乙脑7 902例,年平均发病率