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在石英玻璃衬底上用溶胶-凝胶法制备了纳米级的多晶ZnO薄膜，通过XRD、AFM和UV—Vis吸收光谱对薄膜进行了表征；以苯酚作为被降解的物质，研究了退火温度、降解温度、苯酚溶液的初始浓度和空气流量对ZnO薄膜光催化降解苯酚性能的影响，以及其光催化活性的失活与恢复。实验结果证明，溶胶-凝胶法制备的纳米级ZnO薄膜光催化效果显著，并且可以再生。