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综述了基于飞秒激光微通道制造的研究现状,包括加工机理、工艺技术方面的研究进展,重点介绍了飞秒激光改性辅助化学刻蚀和液体辅助飞秒激光烧蚀两大主要制造方法上的研究成果,概述了目前面临的主要问题与挑战,展望了未来的发展趋势.
飞秒激光微通道加工研究进展
【摘 要】
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综述了基于飞秒激光微通道制造的研究现状,包括加工机理、工艺技术方面的研究进展,重点介绍了飞秒激光改性辅助化学刻蚀和液体辅助飞秒激光烧蚀两大主要制造方法上的研究成果
【机 构】
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美国密苏里科技大学机械与航天工程系,北京理工大学先进加工技术国防重点学科实验室
【出 处】
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北京理工大学学报
【发表日期】
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2012年10期
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