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论述了磁场技术应用于硅晶体生长中的基本概况,探讨了磁场影响硅晶体生长的机制,重点阐述了各种磁场的分类、基本原理及其在硅晶体生长的应用,并归纳总结了国内外磁场应用于硅晶体生长中的研究现状。另外,对硅晶体生长中杂质的分凝行为和数值模拟作了简要介绍,并展望了磁场应用于硅晶体生长的发展前景。
磁场应用在硅晶体生长过程中的研究进展
【摘 要】
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论述了磁场技术应用于硅晶体生长中的基本概况,探讨了磁场影响硅晶体生长的机制,重点阐述了各种磁场的分类、基本原理及其在硅晶体生长的应用,并归纳总结了国内外磁场应用于
【机 构】
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新余学院新能源科学与工程学院,新余学院江西省高等学校硅材料重点实验室
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2013年13期
【基金项目】
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国家自然科学基金(51164033);江西省自然科学基金(20132BAB206021);江西省教育厅科学技术研究项目(11739;12748);校级招标课题(xj0901)
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