【摘 要】
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近年来以镓为原料的Ⅲ族氮化物受到广泛的关注,为了介绍氮化镓的最新研究进展,文章以氮化镓薄膜的制备为切入点,借助学校自主研制的MOCVD系统,做了多次生长实验,总结出5条MCV
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近年来以镓为原料的Ⅲ族氮化物受到广泛的关注,为了介绍氮化镓的最新研究进展,文章以氮化镓薄膜的制备为切入点,借助学校自主研制的MOCVD系统,做了多次生长实验,总结出5条MCVD系统的优点,文章进而阐述了氮化镓在射频功率晶体管和LED方面的突破。综上所述,文章在描述学校自主研制的MOCVD系统和认识氮化镓最新发展上取得了满意的结果。
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