氮掺杂氟化非晶碳薄膜的拉曼光谱结构研究

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以CF4、CH4和N2的混合气体为源气体,采用PECVD技术,在不同源气体流量比下制备了α-C:F:N薄膜。对制备的薄膜进行了真空退火处理。并对退火前后的薄膜进行了拉曼结构分析。拉曼分析表明:α-C:F:N薄膜是由sp^2和sp^3混合结构组成的非晶碳薄膜;随源气体流量比的增大,α-C:F:N薄膜中sp^2键的含量增加,交联结构加强,薄膜的热稳定性得到提高;对低流量比下沉积的薄膜,退火处理可以提高其热稳定性。
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