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通过过渡层改善金刚石膜和基底间的结合性能
通过过渡层改善金刚石膜和基底间的结合性能
来源 :材料开发与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lftobto
【摘 要】
:
介绍了在金刚石膜和基底间通过施加过渡层以改善金刚石膜与基底间的结合性能的研究成果。金刚石膜可以通过过渡层沉积于多种基底上,如Si、SiO2陶瓷、钢及硬质合金基底等。过渡层有单
【作 者】
:
黎向锋
左敦稳
【机 构】
:
南京航空航天大学机电工程学院
【出 处】
:
材料开发与应用
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
金刚石膜
结合性能
过渡层
薄膜技术
基底
Diamond filmAdhesion strengthInterlayer
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介绍了在金刚石膜和基底间通过施加过渡层以改善金刚石膜与基底间的结合性能的研究成果。金刚石膜可以通过过渡层沉积于多种基底上,如Si、SiO2陶瓷、钢及硬质合金基底等。过渡层有单层和多层之分,根据金刚石,过渡层及基底的晶格匹配性和热学匹配性,对于不同的基底应选择不同的过渡层。
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