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IGZO TFT详解
IGZO TFT详解
来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aaasdna123
【摘 要】
:
论述了IGZO TFT技术的背景、技术优势和应用。详细介绍了IGZO TFT的结构,性能和生产工艺,并对IGZO TFT生产线存在的问题和发展趋势做出了展望。
【作 者】
:
陶家顺
【机 构】
:
南京中电熊猫平板显示科技有限公司战略情报部,
【出 处】
:
光电子技术
【发表日期】
:
2016年04期
【关键词】
:
铟镓锌氧化物薄膜晶体管
迁移率
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论述了IGZO TFT技术的背景、技术优势和应用。详细介绍了IGZO TFT的结构,性能和生产工艺,并对IGZO TFT生产线存在的问题和发展趋势做出了展望。
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