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一种新型等离子体磁控溅射镀膜电源设计

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户：pj00000pj

【作 者】

：

李波 赵娟 李洪涛 叶超 谭巍巍 黄斌 鲁向阳 黄宇鹏 张信 欧 

【出 处】

：

强激光与粒子束

【发表日期】

：

2019年04期

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