【摘 要】
：
相位解包裹是使用相移显微干涉法测量MEMS/NEMS表面3-D轮廓时的重要步骤.本文针对普通的相位解包裹方法在复杂轮廓或包含非理想数据区的表面轮廓测量中的局限性,提出一种基于
【机 构】
：
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,中北大学电子测试技术国家重点实验室
论文部分内容阅读
相位解包裹是使用相移显微干涉法测量MEMS/NEMS表面3-D轮廓时的重要步骤.本文针对普通的相位解包裹方法在复杂轮廓或包含非理想数据区的表面轮廓测量中的局限性,提出一种基于模板的广度优先搜索相位展开方法.通过模板的使用,先将非相容区域标记出来,在相位解包裹的过程中绕过这些区域,即可得到准确可靠的相位展开结果.通过具体的应用实例可以证明,使用不同模板可以根据不同应用的需要灵活而准确地实现微纳结构表面3-D轮廓测量中的相位展开.
其他文献
日前，Universal Robots公司荣获丹麦工业联合会授予的“丹麦最佳企业奖”，以表彰其作为一家丹麦企业在全球机器人市场上的卓越表现。丹麦王子约阿希姆（Prince Joachim）在颁奖典礼
本文是上海建科建筑节能技术股份有限公司采用合同能源管理的模式,对上海西郊宾馆的冷热源设备及其他设施进行节能改造,通过现场测试、能源审计、设计节能改造方案、设备采购
从＂职业基本素养＂课程实施项目化教学模式的必要性入手,分别从准确把握教学内容,精心设计教学项目;发挥学生主体地位,实施任务引领教学;建立项目化教学综合评价体系等方面,阐述