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介绍了一种双层SIW带通滤波器,两层之间采用交指结构实现谐振,输入输出采用共面波导形式。所设计的毫米波滤波器芯片尺寸仅有7 mm×3.5 mm×0.8 mm,使用三维高频电磁仿真软件对该结构进行仿真和优化,结果表明滤波性能符合设计要求：中心频率10.6 GHz、带宽2.5 GHz、带内插损2 d B。最后阐明了基于MEMS技术的该滤波器的工艺制作流程。