论文部分内容阅读
简要介绍硅晶片的生产工艺流程、空调净化系统和自控系统的设计方案.
某硅晶片生产厂空调净化设计简介
【摘 要】
：
简要介绍硅晶片的生产工艺流程、空调净化系统和自控系统的设计方案.
【机 构】
：
中国电子工程设计院上海分院
【出 处】
：
洁净与空调技术
【发表日期】
：
2004年2期
其他文献
喷西洛韦(penciclovir,PCV)为20世纪90年代问世的抗疱疹病毒药.我院皮肤科门诊2001-01～2003-12用喷西洛韦乳膏治疗颜面单纯疱疹96例,取得了显著疗效,报道如下.
在全球环境恶化、能源危机的大背景下,纯电动车由于具有噪声低,低排放,能效高的优点而日益成为国内外研究的热点。这也为电动汽车空调的研究开发提出了新的课题与挑战,相比于传统燃油车,纯电动车没有用来采暖的发动机余热,需要设计制冷、制热双向运行的热泵型空调系统;同时需要设计系统控制电池在合适温度范围内;由于关系到续航里程,电动车热泵系统更关注于能效比。本文对R134a双热源热泵系统进行了模型仿真与试验研究
本文针对江苏XB断块底水稠油油藏使用常规采油方法采收率低的问题,提出采用HDC(H-水平井、D-降粘剂、C-二氧化碳)吞吐转驱替提高采收率方法,基于构建的岩心驱替模型及三维数
我国的淡水资源人均占有量仅为世界人均水平的28%,在这样的大背景下我国提倡大力建设资源节约型社会,因此节约水资源的具体行动在落实方面很重要。水表的计量准确度与广大群
对于一个制药企业来说．产品质量是压倒一切主要因素。要提高企业的信誉度，就必须确保自己的药品质量。常州千红生化制药有限公司．就是这样一家将产品质量视为“企业生存的根本”
随着国家创新驱动发展战略的发布与实施,培养中小学生的创新精神和创新能力受到了极大的关注和重视。机器人教育是培养学生创新精神和创新能力的有效途径之一,在中小学开展机器人教育具有重大的理论价值和实践意义。受到国外STEAM教育理念的影响,国内机器人教育获得飞速发展,但仍存在师资资源匮乏、相关课程资源缺乏、各地重视与普及程度不统一等问题,其中尤以相关课程资源缺乏为甚,这是导致目前中小学机器人教育开展受阻
【摘要】随着当今社会网络信息化的发展，互联网成为人们工作和学习中必不可少的部分，慢慢地影响着人们的生活方式和思想观念。新科技的快速发展，使得教育领域运用微信、微博等公众平台进行工作和学习，呈现出良好的发展趋势。大多数学校建设微信公众平台，通过文字、图片和音乐等形式进行表达，有利于同学之间、师生之间的共同交流。同时，微信平台对于学校的教学管理中起到很大的帮助作用，在一定的角度上对学生和学校的发展起到