【摘 要】
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用50W连续波CO_2激光器为热源,诱发SiH_4和C_2H_4反应,合成SiC超细粉末。实验确定了反应腔体内压力p、气源中的C/Si原子比、喷嘴内径2r以及激光功率密度与粉末特性之间的关系
【机 构】
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中国建筑材料科学研究院,中国建筑材料科学研究院 北京 100024,北京 100024
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用50W连续波CO_2激光器为热源,诱发SiH_4和C_2H_4反应,合成SiC超细粉末。实验确定了反应腔体内压力p、气源中的C/Si原子比、喷嘴内径2r以及激光功率密度与粉末特性之间的关系,并对合成的产物进行物理、化学表征。
Using 50W continuous wave CO_2 laser as heat source, SiH_4 and C_2H_4 reactions were induced to synthesize SiC superfine powder. The relationship between the pressure p in the reaction chamber, the atomic ratio of C / Si in the gas source, the inner diameter of the nozzle 2r and the power density of the laser and the powder properties were experimentally determined. The synthesized products were characterized by physical and chemical methods.
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