具有空心阴极放电特征的射频放电的两电子组模型

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户：netuu

【摘要】

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运用两电子组模型,考虑了射频放电中的α过程和γ过程两种电离机制,并结合流体模型,研究了中等气压下窄电极间隙容性耦合射频放电在运行模式转变区的等离子体密度以及电离速

【作者】

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余建华赖建军

【机构】

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深圳大学,华中科技大学

【出处】

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强激光与粒子束

【发表日期】

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2004年8期

【关键词】

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射频放电空心阴极放电两电子组模型 Electric fields Electron transport properties Numerical metho

【基金项目】

：

广东省自然科学基金

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运用两电子组模型,考虑了射频放电中的α过程和γ过程两种电离机制,并结合流体模型,研究了中等气压下窄电极间隙容性耦合射频放电在运行模式转变区的等离子体密度以及电离速率分布等特性.理论研究表明,γ电离过程在高电流模式运行中起主要作用,并证实了此类放电中存在显著的电子摆钟效应,具有类似于空心阴极放电的特征.

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