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<正> 将集成电路掩模图形光刻在涂胶后的片子上,目前主要采用接触法。在大面积、高分辨率曝光的场合,这是一种最直接而且也是最简单的方法。但是这种方法容易划伤造价高昂的掩模,于是人们开始研制接近式及投影式曝光,目前正逐步用于实际生产中。投影法包括
全息照相复印法
【摘 要】
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<正> 将集成电路掩模图形光刻在涂胶后的片子上,目前主要采用接触法。在大面积、高分辨率曝光的场合,这是一种最直接而且也是最简单的方法。但是这种方法容易划伤造价高昂的
【出 处】
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半导体设备
【发表日期】
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2004年期
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