【摘 要】
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针对工业生产过程各模态方差差异显著的特性,提出二阶差商PCA(SODQPCA)算法,并研究其应用.先找到训练样本的第k个近邻样本,进行一次差分运算.运用同样的方法,找到近邻样本的第k个近邻样本,进行一次差分运算.将两次运算的结果运用二阶差商的方法剔除多模态和方差差异特性,然后利用PCA建立模型,计算SPE和T 2检测指标的控制限.将待检测数据运用二阶差商算法预处理后投影到PCA模型上,计算检测指标,通过检测指标是否超出控制限判断样本是否正常.将该方法应用于数值例子和半导体工业实例,仿真结果表明:与传统算法
【基金项目】
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国家自然科学基金重大项目(61490701),国家自然科学基金项目(61673279)。
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针对工业生产过程各模态方差差异显著的特性,提出二阶差商PCA(SODQPCA)算法,并研究其应用.先找到训练样本的第k个近邻样本,进行一次差分运算.运用同样的方法,找到近邻样本的第k个近邻样本,进行一次差分运算.将两次运算的结果运用二阶差商的方法剔除多模态和方差差异特性,然后利用PCA建立模型,计算SPE和T 2检测指标的控制限.将待检测数据运用二阶差商算法预处理后投影到PCA模型上,计算检测指标,通过检测指标是否超出控制限判断样本是否正常.将该方法应用于数值例子和半导体工业实例,仿真结果表明:与传统算法
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