磷酸锂陶瓷靶材的制备

来源 :陶瓷学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:taicangliliang
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采用传统的常压固相烧结方法制备了Li3PO4陶瓷靶材,研究了烧结温度对Li3PO4陶瓷靶材的微观结构力学性能、致密度的影响。通过XRD测定靶材相的结构,SEM观察靶材的断面形貌,万能实验机测量靶材的抗弯强度,维氏显微硬度仪测量靶材的维氏硬度,阿基米德排水法测量靶材密度等对Li3PO4靶材的性能进行了分析表征。结果表明:其各项力学性能均达到了一个很高的水平,靶材的最佳烧结温度为800℃,抗弯强度为76.16 Mpa,维氏硬度为475.87HV0.3,相对密度为98.89%;而XRD数据则表明靶材物相单一且结
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