论文部分内容阅读
采用ZnO、Al2O3(2.5%(质量分数))靶材,真空腔温度保持在40℃左右,运用电子束蒸发法制得系列的ZnO∶Al(ZAO)薄膜。通过X射线衍射(XRD)、光学显微镜、紫外-可见近红外光谱仪、四探针测试仪等仪器对薄膜进行了测定。薄膜呈c轴择优取向的六角纤锌矿结构;具有致密平滑的表面形貌;最佳工艺下样品在702nm波长处透过率达90%;最低电阻率为1.7×10-3Ω.cm。