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针对传统的真空镀膜系统不能对弯弧玻璃进行镀膜，难于对特殊形状的玻璃进行均匀成膜，研究了一种利用伺服电机的精确位置控制的方式实现对靶位的精确控制，实现了在玻璃深加工中对大弧度的玻璃进行均匀的表面成膜。实验表明采用伺服电机能够精确调整靶位，在整个玻璃镀膜过程中实现了靶与玻璃表面的相对位置不变，达到了预期的目的。