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定量地分析了圆弧极板型差动电容式传感器在测量主轴回转误差运动时的原理误差。指出不能忽略主轴截面形状误差的１、５、７阶谐波的影响，其余均可剔除或忽略。
用圆弧极板型差动式电容传感器测量主轴回转精度时的误差分析
【摘 要】
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定量地分析了圆弧极板型差动电容式传感器在测量主轴回转误差运动时的原理误差。指出不能忽略主轴截面形状误差的１、５、７阶谐波的影响，其余均可剔除或忽略。
【机 构】
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上海交通大学,西门子移动通讯公司
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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0年JLXB802.012期
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