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用有机金属化学气相沉淀(MOCVD)与溶胶-凝胶(sol-gel)法制备二氧化钛薄膜.通过XRD,FE-SEM,AFM以及光照TiO2薄膜来降解橙色Ⅱ溶液的方法,研究了TiO2膜的晶体结构、微观表面特性与形貌以及薄膜的光媒特性.比较了不同的TiO2薄膜形成条件对晶格特性与光媒活度的影响.结果表明,成膜温度对薄膜的微观结构及晶体学特性有很大影响;用MOCVD方法得到的TiO2膜,其光媒活度明显高于用sol-gel法得到的TiO2膜.