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研究基体负偏压、氮分压及合金靶电流等工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层性能的影响。结果表明，Ti0.33Al0.67N梯度膜层随着各工艺参数的增大表面形貌得到改善、沉积率增大，当超过某一个值时，却随着参数的增加形貌恶劣、沉积率降低。工艺参数对膜层显微硬度影响的次序为：TiAl合金靶电流〉基体负偏压〉氮分压。对膜基结合力影响次序为：基体负偏压〉氮分压〉TiAl合金靶电流。在试验设计的参数水平范围内，在齿轮材料40Cr表面较优的镀覆工艺参数：基体负偏压150V、TiAl靶电流60A、氮分压0．5Pa