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详细分析了P47型原子力显微镜线宽测量不确定度的来源，给出了基于几何形状的线宽测量模型，提出了线宽测量不确定度的评定路线和方法。确定了探针针尖引起的测量不确定度是AFM线宽测量不确定度的主要来源，并对其进行了定量分析。普通Si3N4探针针尖引起的不确定度分量约占线宽总量的5％。
AFM线宽测量不确定度的分析与评定
【摘 要】
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详细分析了P47型原子力显微镜线宽测量不确定度的来源，给出了基于几何形状的线宽测量模型，提出了线宽测量不确定度的评定路线和方法。确定了探针针尖引起的测量不确定度是AFM线
【机 构】
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福州大学机械工程及自动化学院,西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,福州大学物理与信息工程学院
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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2012年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金（90923001）,福建省教育厅项目（JA11031）,福州大学人才基金（022319）
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