【摘 要】
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文中对ＧＬ－６９型离子减薄仪的真空检测系统、高压电路系统、气流控制系统、样品台对离子束的倾斜角等问题提出了见解与改进方法，并得出了离子束流与时间的关系曲线，可供任用离子减薄仪
【机 构】
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华中理工大学模具技术国家重点实验室
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文中对ＧＬ－６９型离子减薄仪的真空检测系统、高压电路系统、气流控制系统、样品台对离子束的倾斜角等问题提出了见解与改进方法，并得出了离子束流与时间的关系曲线，可供任用离子减薄仪的技术人员参考。
In this paper, the methods of improving the vacuum detection system, the high voltage circuit system, the airflow control system, the tilt angle of the ion beam in the GL-69 iontophoresis instrument are put forward, and the relationship between the ion beam current and the time Relationship curve, available for appointment Ion thinning instrument technical staff reference.
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