高纯硅的制法

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<正> 是以精制的氯硅烷和氢气的混合物同高纯硅的熔解浴直接接触为特征的高纯硅的制造方法。硅是现在广泛使用的半导体材料,近年来,由于各种集成电路、大容量高周波的晶体管等的普及和大量生产,利用半导体光电效应的太阳能发电计划之进行等,制造高纯单晶硅已成为对半导体工业的基本要求。已知的生成高纯硅的方法都是利用对硅生成气体不分解的氢气以还原反应析出硅。这种析出反应的扩散阶段,因不能控制扩散速度,所以只能在最有利的平
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