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传统的TFA-MOD法制备YBa2Cu3O7-x薄膜，采用Y、Ba、Cu3种金属的三氟醋酸盐（TFA）为先驱体，在热分解时，会产生大量的HF气体，即使通过将近20h的缓慢升温过程来对薄膜进行热分解，也难以获得较为光洁的表面，从而无法实现厚膜的制备。本文提出了一种新的含氟溶胶-凝胶工艺，通过减少溶胶中F的含量，并利用二乙醇胺做修饰剂，缩短了热分解时间，提高了薄膜的表面光洁度。利用该方法在（010）LaAlO3衬底上制备了具有良好c轴取向，临界转变温度为89K的YBCO超导薄膜。