State-of-the-art and recent developments in micro/nanoscale pressure sensors for smart wearable devi

来源 :纳米技术与精密工程(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：wumin0371

【摘要】

：

Small-sized,low-cost,and high-sensitivity sensors are required for pressure-sensing applications because of their critical role in consumer electronics,automoti

【作者】

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Ye Chang Jingjing Zuo Hainan Z

【机构】

：

StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasuringTechnology&,Instruments

【出处】

：

纳米技术与精密工程(英文)

【发表日期】

：

2020年1期

【关键词】

：

M/NEMS Pressure SENSOR Flexible SENSOR PIEZORESISTIVE SENSOR Capacitive SENSOR P

【基金项目】

：

the National Natural Science Foundation of China(NSFC Nos.61674114,91743110,21861132001),National Key Research and Development Program of China(No.2017YFF0204604),Tianjin Applied Basic Research and Ad

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Small-sized,low-cost,and high-sensitivity sensors are required for pressure-sensing applications because of their critical role in consumer electronics,automotive applications,and industrial environments.Thus,micro/nanoscale pressure sensors based on micr

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