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采用溶胶-凝胶法制备WO3-SiO2复合薄膜，对不同温度热处理的复合薄膜及单一组分薄膜的结构和气致变色性能进行了对比分析.XRD分析结果表明，复合薄膜的晶化温度提高、晶化程度降低，存在一定的晶格畸变：IR分析结果表明，在热处理过程中复合薄膜氧化钨分子间不易缩合，分子结构对称性低、变形多.性能测试结果表明，在复合薄膜中，WO3与SiO2之间的相界等结构缺陷为氢气提供扩散通道，使复合薄膜在热处理后气致变色性能优于单一组分薄膜.