【摘 要】
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在高压功率器件领域，常规的场限环技术由于环的个数较多，占用芯片面积较大，导致终端的效率很低。为了改善这一缺点，提出了一种带P-埋层的新型高压终端技术，有效降低了主结边缘处的
【机 构】
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中国振华集团永光电子有限公司,电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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在高压功率器件领域，常规的场限环技术由于环的个数较多，占用芯片面积较大，导致终端的效率很低。为了改善这一缺点，提出了一种带P-埋层的新型高压终端技术，有效降低了主结边缘处的电场集中，提高了击穿电压。仿真结果表明，该结构的击穿电压达到3439V，终端的长度为1000μm，较常规的场限环结构1500μm（英飞凌公司3300V产品）节省了近30％的终端面积。
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