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阐述了半导体器件中金属化系统的失效模式和机理,提出了为消除金属化系统失效模式和提高金属化系统可靠性而采取的措施。
半导体器件中金属化系统的失效模式
【摘 要】
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阐述了半导体器件中金属化系统的失效模式和机理,提出了为消除金属化系统失效模式和提高金属化系统可靠性而采取的措施。
【机 构】
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天水天光半导体有限责任公司
【出 处】
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甘肃科技纵横
【发表日期】
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2006年06期
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