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用不同升温速率控制ＰＺＴ薄膜晶化过程，实验结果表明，当晶化温度在４００￣６００℃时，薄膜显然绿石相，当采用较高升温速率５０℃／ｍｉｎ时，在硅片上可缩小焦绿石相生成，提高钙钛矿相形成，从而获得取向性高的钙钛矿相ＰＺＴ薄膜。
溶胶—凝胶法制备PZT薄膜晶化过程升温实验研究
【摘 要】
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用不同升温速率控制ＰＺＴ薄膜晶化过程，实验结果表明，当晶化温度在４００￣６００℃时，薄膜显然绿石相，当采用较高升温速率５０℃／ｍｉｎ时，在硅片上可缩小焦绿石相生成，提高钙钛矿相形成，从而获得取向性高的钙钛矿
【机 构】
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贵州省理化测试中心
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1997年1期
【基金项目】
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贵州省“八五”攻关课题
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