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期刊论文
金属铀膜的制备及应用现状
金属铀膜的制备及应用现状
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lh305879918
【摘 要】
:
介绍了国内外目前主要采用的制备金属铀膜的技术及各制备技术的应用现状,包括机械研磨、轧制、高真空蒸发沉积,脉冲激光气相沉积和溅射沉积,重点介绍了各种制备铀膜技术的工艺条
【作 者】
:
易泰民
邢丕峰
李朝阳
谢军
郑凤成
李国荣
【机 构】
:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
2009年12期
【关键词】
:
金属铀膜
蒸镀
磁控溅射
【基金项目】
:
国家863高技术项目资助
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介绍了国内外目前主要采用的制备金属铀膜的技术及各制备技术的应用现状,包括机械研磨、轧制、高真空蒸发沉积,脉冲激光气相沉积和溅射沉积,重点介绍了各种制备铀膜技术的工艺条件和制备出铀膜的厚度、表面质量、成分、晶粒结构以及其表征方法。以及薄膜沉积过程中生长速率和厚度监控的常用方法。
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