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介绍了SOI材料结构技术用于高温电路的优势，分析了影响高温性能的物理效应和结构因素。为实现良好的高温性能，提出了沟道下用氮化铝作埋层以替代常规二氧化硅埋层的SOI器件新结构，并和以二氧化硅为埋层结构的器件特性进行了对比，对它们高温输出性能和沟道内晶格温度进行了研究分析，得出了具有指导意义的分析结果。