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用双层辉光放电在钛合金Ti6Al4V表面形成了Mo-N硬质镀层. 用X射线衍射仪和纳米压入仪分别对镀层的相结构、硬度和弹性模量进行了研究, 并用涂层压入仪对镀层与基体间的结合强度进行了测定. 结果表明: Ti6Al4V表面形成了均匀的Mo-N硬质镀层, 镀层厚约10μm, 由面心立方结构Mo2N化合物构成; Mo2N硬质镀层的硬度和弹性模量分别为13.80GPa和261.65GPa; 镀层与基体间具有较好的结合强度.