多次透射反射红外光谱法灵敏和准确地测量单晶硅中间隙氧和代位碳的含量

来源 :无机化学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ncepuwade

【摘要】

：

建立了室温下使用多次透射反射红外光谱法（MTR-IR）测量单晶硅中间隙氧和代位碳含量的新红外光谱吸收方法，在理论和实验上证明了MTR-IR优于常规使用的单次垂直透射红外（IR）吸收测量

【作者】

：

路小彬肖守军

【机构】

：

配位化学国家重点实验室

【出处】

：

无机化学学报

【发表日期】

：

2016年2期

【关键词】

：

多次透射反射红外间隙氧代位碳 multiple transmission-reflection （MTR） infrared Spectroscopy

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划（No.2013CB922101）,国家自然科学基金（N0.91027019）资助项目. Acknowledgments： We acknowledge financial support from the National Basic Research Program of China （No. 2013CB922101） and the NSFC, No. 910270

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

建立了室温下使用多次透射反射红外光谱法（MTR-IR）测量单晶硅中间隙氧和代位碳含量的新红外光谱吸收方法，在理论和实验上证明了MTR-IR优于常规使用的单次垂直透射红外（IR）吸收测量方法。与IR法相比较，MTR—IR法的优点为：（1）间隙氧在1107cm。处和代位碳在605cm^-1处的吸收峰与MTR-IR法中红外光透过硅片的的次数N（6～12）成线性增加的正比例关系，因此单晶硅中间隙氧和代位碳含量的检测限至少比IR法低一个数量级：（2）MTR-IR法测量薄硅片如0．2mm的厚度时产生的干涉条纹强度是单

其他文献

达克宁治疗念珠菌阴道炎138例临床观察

1998年3月起采用达克宁栓与制霉菌素片联合用药的方法治疗念珠菌性阴道炎患者138例效果好,复发率低.报告如下:

期刊

达克宁治疗念珠菌阴道炎临床观察

急性心肌梗死并发心源性休克的现代防治与进展

期刊

再灌注治疗循环支持急性心肌梗死心源性休克防治

人工心脏起搏治疗缓慢心律失常的临床体会

人工心脏起搏器是目前治疗心脏起搏及传导系统功能障碍最有效和可靠的方法之一.1994年4月～2001年12月已成功为66例缓慢心律失常患者安装了埋藏式永久起搏器,取得了满意疗效.报

期刊

治疗缓慢心律失常人工心脏起搏器临床分析