【摘 要】
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中国计量科学研究院与德国联邦物理技术研究院、德国伊尔门脑技术大学和耶那蔡司厂合作,于1997年研制成功计量型原子力显微镜.限于当时的技术水平,它还存在有不可忽略的阿贝
【机 构】
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中国计量科学研究院,伊尔门脑技术大学
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中国计量科学研究院与德国联邦物理技术研究院、德国伊尔门脑技术大学和耶那蔡司厂合作,于1997年研制成功计量型原子力显微镜.限于当时的技术水平,它还存在有不可忽略的阿贝误差,特别是在x与y方向的阿贝误差可达2～3 nm.所以,在其测量空间范围内,两点间的测量不确定度为:U=5 nm+2×10-4L(L为两点间的距离).本文报导1999年以来在原基础上所作的改进,消除了3个坐标方向上的阿贝误差,将测量不确定度提高到:U=2 nm+1×10-4L.
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