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半导体温度传感器研究进展综述
半导体温度传感器研究进展综述
来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lovesyb
【摘 要】
:
半导体温度传感器体积小、功耗低,且能与其他外围控制电路集成在同一芯片上,其应用领域广阔。评述了各种半导体温度传感器的基本实现方式、发展现状,总结了现有各种设计方法
【作 者】
:
张洵
靳东明
刘理天
【机 构】
:
清华大学微电子所
【出 处】
:
传感器与微系统
【发表日期】
:
2006年03期
【关键词】
:
温度传感器
热测试
集成电路
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半导体温度传感器体积小、功耗低,且能与其他外围控制电路集成在同一芯片上,其应用领域广阔。评述了各种半导体温度传感器的基本实现方式、发展现状,总结了现有各种设计方法中的关键技术及其存在的问题和改进方向。
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