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静电放电对2SC3356造成的潜在性失效的实验模拟
静电放电对2SC3356造成的潜在性失效的实验模拟
来源 :河北师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ztldkd
【摘 要】
:
研究了低电压的静电放电(ESD)对微电子器件造成的潜在性失效.采用人体模型(HBM)对微波低噪声晶体管2SC3356施加了一系列低电压的ESD应力,结果表明:低于损伤阈值的ESD应力可以使微电
【作 者】
:
祁树锋
杨洁
刘红兵
刘尚合
【机 构】
:
军械工程学院静电与电磁防护研究所,中国电子科技集团第第13研究所5专部
【出 处】
:
河北师范大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2006年6期
【关键词】
:
ESD
微电子器件
潜在性失效
ESD
mieroelectric device
latent failure
【基金项目】
:
国家自然科学基金重点资助项目(50237040)
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研究了低电压的静电放电(ESD)对微电子器件造成的潜在性失效.采用人体模型(HBM)对微波低噪声晶体管2SC3356施加了一系列低电压的ESD应力,结果表明:低于损伤阈值的ESD应力可以使微电子器件产生潜在性损伤,从而影响器件的使用寿命.
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