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电沉积纳米金属多层膜研究
电沉积纳米金属多层膜研究
来源 :天津大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:iversonKKE3
【摘 要】
:
分别采用单槽法和双槽法电沉积制备Cu/Ni多层膜.研究了两种电沉积方法制备多层膜的工艺条件,并利用俄歇电子能谱和扫描电子显微镜(SEM)确定镀层结构.通过对比,分析了单槽法和双槽
【作 者】
:
姚素薇
桂枫
张卫国
冯钊永
窦升鹏
【机 构】
:
天津大学化工学院
【出 处】
:
天津大学学报
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
电沉积
金属多层膜
纳米结构
铜/镍多层膜
单槽法
双槽法
组分调制合金
electrodeposit multilayer nanostructure
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分别采用单槽法和双槽法电沉积制备Cu/Ni多层膜.研究了两种电沉积方法制备多层膜的工艺条件,并利用俄歇电子能谱和扫描电子显微镜(SEM)确定镀层结构.通过对比,分析了单槽法和双槽法制备多层膜的优缺点.
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