【摘 要】
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为便捷地定量检测大口径光学元件面形,运用数字刀口检测技术, 把传统刀口仪与CCD图像采集处理、计算机辅助计算相结合,构成数字刀口仪.采用图像处理来确定阈值对应的刀口位置
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为便捷地定量检测大口径光学元件面形,运用数字刀口检测技术, 把传统刀口仪与CCD图像采集处理、计算机辅助计算相结合,构成数字刀口仪.采用图像处理来确定阈值对应的刀口位置,引入PSD来描述频域信息.对125mm和150mm口径的球面镜进行检测,实现了传统刀口仪不能完成的定量检测,获得了面形分布,检测精度P-V值达到0.12°=532nm°.通过与干涉仪测得P-V值0.057相比较,验证了数字刀口检测的可行性,而且得到的数据还可进一步进行像差分析,为镜面误差的加工修正提供依据.
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