论文部分内容阅读
首先阐述了微电子机械系统 (MEMS)技术的基本概念、特点及概况 ;其次 ,介绍了MEMS技术的分类及在各领域的应用产品 ;最后 ,重点介绍了RFMEMS技术 ,包括某些RFMEMS器件的典型结构及性能指标
MEMS技术研究及应用
【摘 要】
：
首先阐述了微电子机械系统 (MEMS)技术的基本概念、特点及概况 ;其次 ,介绍了MEMS技术的分类及在各领域的应用产品 ;最后 ,重点介绍了RFMEMS技术 ,包括某些RFMEMS器件的典型
【机 构】
：
南京电子技术研究所南京210013
【出 处】
：
现代雷达
【发表日期】
：
2004年12期
其他文献
自锚式斜拉—悬索协作体系桥是一种崭新的桥型，它具有结构新颖，受力合理，抗风性能好，施工安全和工程造价低等优点，在软土地基、强风地区尤能突出其优越性，在大跨桥型中极具竞争力。
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
目的完善社区防控老年高血压成效评价指标,以提高社区防控老年高血压的针对性、工作质量和资源利用有效率。方法采用自行设计的调查问卷,利用单纯随机抽样的方法,对天津市河
本论文依托国家自然科学基金重大国际合作项目“煤矿覆岩破裂灾变的机理、监测与控制研究（50320120001）”，应用小尺度条件下高精度微地震定位技术，进行了动态监测和预测预报冲击
近年来，山区高等级公路得到迅猛发展，而在山区修建高等级公路时，不可避免会遇到大量岩质斜坡地基上的填方路堤。目前，对于岩质斜坡路堤的破坏机理、稳定性计算方法及设计方法尚缺
本文在Buma海面辐射模型的基础上,推导了一个处于地面的探测器所接收的辐射亮度的公式。计算中考虑了地球曲率和大气折射效应,同时,考虑了海水对3μ以上长波吸收的影响。在3～5
目的分析在对白癜风患者治疗时补骨酯针剂联合泼尼松局部注射的效果。方法收集136例白癜风患者,按照治疗方法不同随机分为观察组和对照组,对照组使用补骨酯针剂治疗,观察组在