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通过锌膜在金属锌熔点以上的温度退火氧化的方法制备ZnO薄膜，研究了氧气压力对ZnO薄膜发光性能的影响。ZnO薄膜的室温光致发光谱是由发光中心在413nm～424nm处的单—紫光组成。随着氧气压力的增加，紫光的强度增加并且发光中心由424nm偏移到413nm。在低氧气压力下（50Pa～500Pa），紫光的发射归因于电子从价带到锌间隙原子（Zni）之间的跃迁。在高氧气压力下（5000Pa～23000Pa），锌间隙原子（Zni）和锌空位（Vzn）缺陷都和紫光发射有关。